產品概述
該設備主要用于多晶硅前處理工序，在高溫真空環境下，對石墨電極、石墨基座、石墨卡瓣等進行煅燒，使石墨部件經酸洗、高溫烘干后仍殘余的水氣和氯化鹽等經高溫真空煅燒后排出爐外，實現提供高純潔凈石墨部件的目的。
性能特點
1.裝出料方式：頂部裝出料、底部裝出料。
2.工作方式為周期作業式；可對石墨、陶瓷等材料在高溫、高真空條件下進行煅燒處理，也可在充入保護氣氛情況下煅燒；設備發熱體采用高純石墨碳棒，保溫層采用復合型石墨碳氈，在使用過程中揮發量少，壽命長、隔熱性好。
3.設備占地小，生產效率高，平均能耗低。
4.采用觸摸屏、PLC控制，配合儀表及傳感器可實現全自動運行（保留手動模式），可實時監控。
5.設有多重安全防護措施，通過溫度、壓力計、安全閥等裝置和連鎖保護程序，使設備具備在發生超溫、超壓、冷卻水欠壓、過流、短路等故障時能夠及時發出聲光報警，并自動啟動保護程序，保障設備和人員安全。
性能參數
| 型號 | VGBD-800 | VGBD-1000 |
| 額定溫度 | 1600℃ | 1600℃ |
| *高溫度 | 2000℃ | 2000℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ | ±1℃ |
| 爐溫均勻性 | ±10℃ | ±10℃ |
| 工作區尺寸 | φ800×800 | φ1000×600 |
| 冷態真空度 | 6.67×10-3Pa | 6.67×10-3Pa |
| 壓升率 | 1Pa/h | 1Pa/h |
| 額定功率 | 400KW | 400KW |
| 電源 | 380V 50HZ | 380V 50HZ |
| 保護氣體 | 氬氣 | 氬氣 |
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