氣相沉積爐設備特點是什么　　氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料，也可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小；　　3.氣相沉積爐設備自動化高，關鍵執行電氣件采用進口；操作直觀、簡便，觸摸屏經過開發，可動態顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入。　　4.采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強。

　　什么是石墨化爐　　八佳生產的石墨化爐設備自動化程度高，爐膛防爆閥設計安全可靠。今天，就和大家介紹下這種爐子。　　1.全自動控制，觸摸屏直觀顯示各種參數數據，完善的報警和閉鎖停機保護裝置。電動自動控制，操作簡便。　　2.電源柜采用全密封結構，柜內裝有水冷、風冷散熱器，不與外界空氣進行熱交換。先進的溫度控制系統采用進口數顯智能溫控表，可實現與PLC的數據通訊，完成全自動化、高精度的溫度測量控制過程。石墨化爐系統可以根據給定的升溫曲線升溫，可以存儲20種不同的工藝升溫曲線，共400段。　　3.采用閉式內循環純水冷卻系統;數字流量監控系統，每個通道的水是由流量計監測和保護。　　4.使用高性能氣體凈化器，可將氣體含氧量降至1PPMV，露 點 溫度降至-70℃。　　5.石墨化爐爐體轉換采用我公司專用高性能中頻變頻器，避免傳統接觸器點燈等接觸不良現象。　　6.根據石墨化爐加熱時間和工藝要求，單個動力柜可以配備多個爐體，單個爐體的加熱和冷卻可以分開完成，大大提高了生產效率。