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      氣相沉積爐的優勢有哪些
      發布時間:2022-09-29   瀏覽:4371次

        氣相沉積爐的優勢有哪些

        氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優勢介紹。

        電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

      氣相沉積爐(CVI-CVD沉積爐)

        氣相沉積爐采用智能壓力調控,壓力波動??;

        全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

        多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

        多級尾氣處理系統,環境友好,能很快收集焦油及副產物,易清理;

        氣相沉積爐可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高。

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        真空燒結爐容易漏氣的點及檢測方法  真空燒結爐爐內的氣氛會直接影響產品的表面處理效果,爐內的氣氛由真空爐的氣密性決定,如果要保證工件質量,先要保持真空爐的氣密性良好,但真空燒結爐的氣密性檢查難點在于爐體面積大、管道復雜,并且容易泄漏的部位比較多,因此對真空燒結爐的氣密性檢查要形成制度化。下面八佳電氣就介紹真空燒結爐容易漏氣的點及檢測方法:  一、真空燒結爐氣密性檢查的重要部位:  1、檢修時替換設備的部位。檢修時動過的爐體和管道部分,都要作為檢查的關鍵部位。  2、開啟過的頂蓋、底蓋、穿帶孔、檢修門。  3、進口密封輥縫?! ?、爐殼和循環管道上的膨脹節,爐輥法蘭、換熱器法蘭、各外表法蘭和焊口等。  5、水冷高溫計、攝像頭、水冷換熱器等。  6、分析儀取樣管接頭等?! 《?、正壓部分的檢查  正常生產過程中,退火爐要保持在150-300Pa的微正壓?! ?、泄露的判別。查詢在線氧氣ppm分析儀測量數據,當某段殘氧量忽然顯著升高時,就可能是爐殼或循環管道發生泄露?! ?、泄露的點檢查方法和東西。東西室氫氣探測儀。方法是確保爐內氫氣在3%以上,用便攜式氫氣探測儀檢查通過承認漏氣爐段的氣密性,重要部位是頂檢修焊縫等。當檢查到漏點部位時,氫氣探測儀會發生報警。  三、負壓部分的檢查  循環風機的吸入端為負壓,假定負壓部位發生泄露,空氣就會被吸入爐內。  1、泄露的判別。通過查詢在線分析儀測量數據改動,就能夠判別這臺風機是否有泄露。  2、泄露的點檢查方法和東西。負壓泄露的點的檢查能夠通過上述方法,將負壓變成正壓,然后運用氫氣探測器檢查,也能夠運用專門用于負壓檢漏設備——氦氣檢漏儀進行檢查?! ∷?、泄露的點要如何處理  退火爐總是處于作業情況,關于一些漏點能夠采用打高溫密封膠等方法做暫時處理,要等有停爐的時機再做完全處理?! ﹂_裂部位進行補焊;現已老化或損壞的密封墊、圈要替換;替換出現縫隙的部件例如膨脹節等;對松動的螺栓進行緊固;涂改高溫密封膠。

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