氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備，設(shè)計思路新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，一臺設(shè)備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應(yīng)加熱原理，使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結(jié)。安裝爐子的場地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤。　　4、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬億歐姆。　　6、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置。　　7、控制電源開關(guān)置于斷開位置。　　8、手動調(diào)壓旋鈕逆時針轉(zhuǎn)動頭。　　9、將報警按鈕置于打開位置。　　10、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空熔煉爐的應(yīng)用介紹 　　真空熔煉爐即在爐腔這一特定空間內(nèi)利用真空系統(tǒng)（由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經(jīng)過精心組裝而成）將爐腔內(nèi)部分物質(zhì)排出，使爐腔內(nèi)壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內(nèi)空間從而實現(xiàn)真空狀態(tài)，這就是真空爐。 　　真空環(huán)境中進行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。真空熔煉爐爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。zui高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷金屬封接等。 　　1、完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關(guān)系極大。 　　2、對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。 　　3、真空熔煉爐爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。 　　4、機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎(chǔ)上，工件移動、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定，按步驟實施淬火和回火。 　　5、能耗低。真空熔煉爐加熱室采用上等隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。